ISO/TR 15969-2001 表面化学分析深度描述溅射深度测量
作者:标准资料网 时间:2024-04-28 12:59:12 浏览:8361
来源:标准资料网
下载地址: 点击此处下载
【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Depthprofiling-Measurementofsputtereddepth
【原文标准名称】:表面化学分析深度描述溅射深度测量
【标准号】:ISO/TR15969-2001
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2001-06
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:深度测量;精整;化学分析和试验;含量测定;定义
【英文主题词】:Chemicalanalysisandtesting;Definition;Definitions;Depthmeasurement;Determinationofcontent;Finishes
【摘要】:ThisTechnicalReportgivesguidelinesformeasuringthesputtereddepthinsputtereddepthprofiling.ThemethodsofsputtereddepthmeasurementdescribedinthisTechnicalReportareapplicabletotechniquesofsurfacechemicalanalysiswhenusedincombinationwithionbombardmentfortheremovalofapartofasolidsampletoatypicalsputtereddepthofuptoseveralmicrometres.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:12P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:表面化学分析深度描述溅射深度测量
【标准号】:ISO/TR15969-2001
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2001-06
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:深度测量;精整;化学分析和试验;含量测定;定义
【英文主题词】:Chemicalanalysisandtesting;Definition;Definitions;Depthmeasurement;Determinationofcontent;Finishes
【摘要】:ThisTechnicalReportgivesguidelinesformeasuringthesputtereddepthinsputtereddepthprofiling.ThemethodsofsputtereddepthmeasurementdescribedinthisTechnicalReportareapplicabletotechniquesofsurfacechemicalanalysiswhenusedincombinationwithionbombardmentfortheremovalofapartofasolidsampletoatypicalsputtereddepthofuptoseveralmicrometres.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:12P;A4
【正文语种】:英语
下载地址: 点击此处下载